Fab/CELLmanager

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Fab/CELLmanagerは、LSI/LCD/ELパネル製造分野に特化したMES開発の基本ツールとして、工場固有の運用に適合したカスタマイズが行えるHPの製品です。

LSI の高集積化や300mm化、液晶パネルの大型化等に伴い、製造ラインに対する要求はますます厳しくなる一方です。例えば装置の自動化によるきめ細やかな装置管理の実施や、オペレータを削減し発塵抑制するなどの要求は、最優先に実施すべき項目となっています。ところがホスト集中管理型の工程管理システムでは、ウェハプロセスの複雑さおよび処理ロットの多さから、この様な自動化のニーズに対応するには、負荷が大きすぎると言えます。更に、製造工程毎の特有な処理を自動化に反映できるような、十分な柔軟性を持っているとは言えません。
Fab/CELLmanagerは、この様なニーズに応え工程管理ホストとの機能分散や危険分散を図り、ウェハファブでの製造装置の自動化･ロット搬送の自動化を実現する為のセル管理ソフトウェア開発の基本ツールです。

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