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FACTORYworks

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FACTORYworks
FACTORYworksおよびLCDworksは、LSI及びLCD製造分野向けのBrooks社のMESパッケージです。
最先端の300mm半導体工場や大型および小型のLCD生産工場で、運用の変化に対応して柔軟に機能することができます。

  • ウエハレベルの管理・異品種混載・複雑になるプロセスフロー・新しい装置の管理などに対応します。
  • Brooks社の他パッケージや他社のパッケージと組み合わせて、スケジューリング・自動化・データ解析・ メンテナンス管理など、工場全体の運用に関するTop-To-Bottomな統合を行なうことができます。
  • FACTORYworksの特徴である拡張性がビジネスルールの強化によりさらに充実します。

300mm/LCDソリューション


  • ウエハレベルの管理
    製品ウエハのみならず、テストやモニターウエハのスロットレベルでのトラッキングができます。ウエハレベルで保持されたデータをもとに、その結果を解析、参照することができます。

  • 異品種混載やバッチ処理
    ロットとキャリア、バッチなどの関係定義が柔軟に行なえ、さまざまな管理単位での進捗ができます。また、FOUPやレチクルのような部材の管理もできます。

  • 複雑かつ柔軟なプロセスフローの定義
    ロット/ウエハや装置の属性、および過去の処理結果を参照してダイナミックに次のプロセス(工程)を決定することができます。工程や装置ごとに、ウエハ単位の処理を定義することができます。

  • 新装置対応
    柔軟な定義が可能な装置モデルで、インライン装置やマルチチャンバー装置のような複雑な装置の状態遷移や 動作を制御することができます。標準的な装置や、一度、設定したモデルを他の類似装置に再利用することができます。

他製品との接続が容易


  • ダイナミックなディスパッチリスト更新
    AutoSchedAPやRTDの連携により、装置や作業者による変化を捕らえ、ダイナミックにディスパッチリストを更新します。

  • 搬送自動化のための標準/拡張MCS
    搬送制御システムパッケージであるClassとの連携により、IBSEMと Stocker SEMに容易に対応することができます。

  • 既存システムとの容易なI/F
    拡張性のあるアーキテクチャとEnterpriseInfomationGatewayにより、Brooks社の製品はもとより他社のERPやSCMとも、容易に接続することができます。

工場固有の運用に適応できるMES


FACTORYworksおよびLCDworksでは、ビジネス・ルールを用いることによって、容易に工場固有の運用シナリオをシステム化することができます。
ビジネス・ルールとして、Microsoft Visual Basic、Brooks社のCELLman第4世代言語(4GL) および、サーバーサイド・ビジネス・ルール(C++、Script、PL/SQL)が追加され拡張性を強化しています。 工場固有の情報は、ユーザ定義のオブジェクト(ACE)として定義することにより、FACTORYworksの仕組みのなかで拡張することができます。
このような仕組みにあわせ、90以上の基本ビジネス・ルールと編集のためのビジネス・ルール支援機能(ビジネスルール・ウィザードやテストツールなど)を使用し、さまざまな工場の運用に最適化できます。

  図:工場固有の運用に適応できるMES
  図:工場固有の運用に適応できるMES

関連リンク

 
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