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Fab/SECSmessageQ

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Fab/SECSmessageQ

Fab/SECSmessageQは、Alpha、VAXと半導体製造装置との通信における、SECS-II レベルのプロトコルを実現

Fab/SECSmessageQは、Alpha、VAXと半導体製造装置との通信における、SECS-IIレベルのプロトコルを実現します。会話シーケンスおよびメッセージ・フォーマットを外部のテキスト・ファイルに定義し、その定義にしたがって通信を行います。

外部テキスト・ファイルによる通信シーケンスの定義

  • 会話シーケンスおよびメッセージ・フォーマットを記述した定義ファイルを作成します。
  • 登録された情報をもとにFab/SECShandlerを介し、製造装置と通信できます。

アプリケーション・インターフェイス

標準として以下の種類の会話を用意し、アプリケーションに対してDECmessageQ経由のインターフェイスを提供します。

  • 装置オンライン/オフライン報告会話
  • ロット搬入要求/搬入完了報告会話
  • ロット搬出要求/搬出完了報告会話
  • ロット処理開始/終了報告会話
  • レシピ・アップロード/ダウンロード会話
  • オンライン確認会話
  • リモート制御
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