Fab/SECSmessageQ

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Fab/SECSmessageQはFab/CELLmanagerを構成するモジュールの一部をパッケージ化したもので、装置とのメッセージ通信機能のみを提供するものです。これに対してFab/CELLmanagerは、半導体製造におけるセル管理機能を提供するアプリケーション・システムであり、Fab/SECShandlerとFab/SECSmessageQを包含するものです。

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