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半導体製造における高生産性・高品質化・高機能化を目指します
半導体製造ラインでは、ウェハプロセス・ペレット検査工程で様々なデータが大量に発生します。これらのデータは互いに複雑に関連しており、デバイスの歩留まり向上や特性改善を実現するには、各分野のエンジニアがこれらのデータを様々な角度から検討する必要があります。
Fab/STARは、このような技術情報を解析するためのシステムを構築するためのソリューションツールです。Fab/STARを用いて構築する技術情報解析システムは、半導体製造における高生産性・高品質化・高機能化を目指します。
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